SiC Ceramic

Ang mga SiC ceramics gigamit labi na sa mga kagamitan sa semiconductor, labi na tungod kay mas lig-on kini sa mas lisod nga mga kondisyon. Kung motaas ang temperatura o ang proseso mahimong mas agresibo, ang mga materyales sama sa quartz o silicon mahimong magsugod sa pagpakita sa mga limitasyon, ug kasagaran mao kana ang gamit sa SiC. Sa mga proseso sa hurno sama sa oxidation o diffusion, ang mga piyesa sama sa wafer boats o paddles nga hinimo gikan sa SiC lagmit nga molungtad og dugay. Gipadayon nila ang ilang porma ug dili magdala og daghang kontaminasyon, bisan human sa taas nga paggamit. Kasagaran ang mga tawo mobalhin gikan sa quartz tungod niini nga hinungdan, labi na kung ang pagmentinar kanunay kaayo.

Para sa etching, ang SiC kanunay nga gipili tungod kay mas dugay kini nga molahutay sa plasma. Ang kalainan sa tibuok kinabuhi kon itandi sa mga piyesa sa silicon mamatikdan sa daghang mga setup, bisan kung kini nagdepende gihapon sa eksaktong proseso. Makatabang usab kini gamay sa pagkontrol sa partikulo, nga mahimong mas sensitibo samtang ang mga node mokunhod. Makita usab nimo ang SiC nga gigamit isip mga susceptor sa MOCVD o CVD. Sa maong mga kaso, dili kaayo kini bahin sa "kusog" ug labi pa bahin sa pagpabilin nga lig-on ang pamatasan sa temperatura. Gawas niana, kini makita sa mga piyesa sa chamber sama sa mga liner o showerhead, ug usahay sa pagdumala sa mga sangkap usab.