CVD SiC Wafer Holder

Sa compound semiconductor epitaxy – sama sa GaN-on-Si, GaN-on-sapphire, o MicroLED fabrication – ang wafer holder (usahay gitawag nga SiC-coated susceptor) usa ka kritikal nga bahin. Kini nahimutang taliwala sa heater ug sa wafer ug nagdumala sa kadaghanan sa thermal transfer.

Ngano nga gipili sa mga inhenyero ang mga Semixlab SiC wafer holder?

● 7-nines nga kaputli (kinatibuk-ang metal < 5 ppm) – Gigamit namo ang usa ka proprietary CVD process (gipalambo ni Prof. Shaolong He) nga nagmintinar sa ubos nga lebel sa mga trace metal sama sa Fe, Cu, ug Ni. Kini nagpasabot nga mas gamay nga lattice defects atol sa sensitibo nga pagtubo sa GaN.

● Maayong thermal uniformity (±1%) – Ang CVD SiC film adunay taas nga thermal conductivity (~300 W/m·K). Ang kainit dali ug parehas nga mokatap, nga makatabang sa pagpakunhod sa wafer bow ug thermal stress.

● Kusgan nga resistensya sa H₂ ug NH₃ corrosion – Dili sama sa bare graphite o quartz, ang among dasok nga SiC coating magpabiling inert ubos sa taas nga temperatura nga ammonia ug hydrogen flows (900–1200 °C). Mas gamay nga particle shedding, ug ang parte molungtad og 3–5 ka pilo nga mas dugay.

● Pagtugma sa CTE – Usa ka espesyal nga gradient transition layer ang nagmintinar sa coefficient sa thermal expansion tali sa coating ug graphite nga maayo ang pagkaparehas. Walay delamination o cracking, bisan sa paspas nga ramp-up ug ramp-down.

Mga importanteng senaryo sa aplikasyon

● GaN-on-Si / GaN-on-sapphire epitaxy – Importante para sa mga power device ug RF chips, diin ang lokal nga thermal stability direktang makaapekto sa electrical mobility sa GaN layer.

● MicroLED ug mga advanced display – Nagkinahanglan og ultra-high purity ug gamay ra kaayong mga partikulo, nga gihatag sa among holder para sa high-density LED arrays.

● Pagtubo sa kristal nga SiC (PVT) – Molihok isip usa ka high-performance carrier para sa SiC source material, ug makasuporta sa mga rate sa pagtubo hangtod sa ~1.46 mm/h.

● Paspas nga pagproseso sa kainit (RTP) – Ang panghawid makasugakod sa grabeng thermal shock atol sa paspas nga mga siklo sa annealing nga walay micro-cracking.

Mga bentaha sa Semixlab

Dili lang mi basta supplier – naningkamot mi nga mahimong tinuod nga partner para sa imong panginahanglan sa thermal field. Ang Semixlab gitukod sa mga tigdukiduki gikan sa Chinese Academy of Sciences, ug nagpadagan mi og sobra sa 12 ka dedikado nga linya sa produksiyon sa CVD. Naa pud mi in-house 5-axis CNC machining, para makahimo mi og mga wafer holder nga adunay tolerances nga sama ka hugot sa ±0.01 mm. Buot ipasabot, diretso ra ni sila mahulog sa imong global tool sets nga dili na kinahanglan og dugang nga fitting.